Meta AR/VR专利提出使用多孔GaN提高光提取效率
使用多孔GaN来提高光提取效率
（映维网Nweon 2024年07月20日）在大型LED中，可以通过使用薄膜技术或在衬底表面或粗糙发光表面提供密集、周期性图案的图案蓝宝石衬底来提高光的提取效率，从而令光子的传播方向随机化，增加光子从约束中释放出来并离开台面结构的可能性。然而，这种技术可能不适用于线性尺寸小于5微米或约3微米的Micro LED。
名为“Light extraction efficiency enhancement using porous gan”的专利申请中，Meta提出可以使用多孔GaN来提高光提取效率。
在一个实施例中，可以在LED的发光表面附近形成多孔抽光结构以散射入射光，并减少由于全内反射引起的入射光的反射，从而提高LED的抽光效率。多孔光提取结构可以位于发光表面，也可以位于在发光表面具有平坦表面的薄层下方，并且可以通过沉积高掺杂半导体层和使用电化学蚀刻使高掺杂半导体层多孔化来形成。
在发光表面处具有平面的薄层可促进其他结构的集成，例如用于准直所发射光束的微透镜或用于改变所发射光束的主射线角的其他结构。
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