波导厂商Lumus介绍一种基于光学的内切面平行度验证方法
内切面平行度验证
（映维网Nweon 2024年08月08日）有的光波导包括表面平行的内反射面。为了高精度地验证内切面的平行度，目前需要高端的光学元件。对于简单且易于实现的计量技术，市场存在未满足的需求。
在一份专利申请中，波导厂商Lumus就介绍了一种基于光学的内切面平行度验证方法。
图1A描述了用于样品内切面计量的基光系统100。基于光学的系统100配置用于验证样品的内切面之间的平行度。
样品10包括透光基板12，以及在基板内的两个或多个内刻面14。样品10包括外部第一表面16a。样品第一表面16a可以是平的。
样品10的输出部分18对应于基板12的内刻面14所在的部分。
图1B提供了输出部分18的放大视图。内刻面14显示为包括三个内刻面：第一内刻面14a、第二内刻面14b和第三内刻面14c。第二内刻面14b设置在第一内刻面14a和第三内刻面14c之间。
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